半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
项目流程背景图
该厂家园集聚了十余家半导体行业有关于厂家,开发日除理作用5000吨,需除理是来自于不一厂家的相混污水。致使各厂家产量流程相互影响大,污水组成成分复杂化变化无常,除理的难度较高。
废污水有效成分及源头
生产废液首要还涵盖四种类:高溶液渗透压可挥发生产废液(光刻胶、成像液等)、含氟生产废液(刻蚀加工过程)和酸碱平衡生产废液(洗掉加工过程)。特异营养成分还涵盖异丙醇、四甲基氢氧化物铵等难降解塑料可挥发物,并且氟化物、氯离子等无机物危害物。生产废液COD上下波动大(500-3000mg/L),氟化物溶液渗透压100-500mg/L,氯离子50-150mg/L。
处里加工过程步骤
用到"分类管理整理+分质处里+集中在淬硬层处里"的创新性模式,:
公司企业室内类别预清理:含氟生产废水分开收录并预清理
项目供水管道总类输送管模式
总合设定池平均水质监测
有级沥青混凝土凝固删去浮动物和电解质溶液
科学规范海洋生物影响器(HBR)补救有机的弄脏物
二阳极氧化碳催化阳极氧化阳极氧化挥发难拆分生物碳物
反覆盖体统开始脱盐除理
UV太阳辐射线清洁消毒保障喷水安全保障
特殊装置了在线平台监测站设备和自功投药设备,对待水质监测震荡。
以后结果
系统软件工作3年来,处置效率靠谱靠谱。出水出水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氧化还原电位<5mg/L,总氮<15mg/L,完成水质监测Ⅳ类标准化,组成部分适用于物流该项目环卫绿化及放置凉水塔补充水分,适用率超越30%。几乎每年减小新的水适用约5万吨,为物流该项目各个企业节省成本水电费数百人千元。