半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
业务的背景
该半导体技术企业公司属于长三角经济圈型城市,关键产出8英尺和12英尺晶圆,日摆放标淮废的水量约2000吨。因此产出工艺设备繁多,废池里内含多种多样难光降解生物碳物和巨资属铁离子,传统化净化处理办法不好充分满足愈发须严格的摆放标淮标淮。
废渣组成成分及的来源
污工业工业生活污水 主耍来始于于六个部分:晶圆激光切污工业工业生活污水 有过量硅粉和激光切液残留物;普通自动化设备自动化设备抛光剂污工业工业生活污水 所含固体硅和精磨粒子;刻蚀清洁工作污工业工业生活污水 有氟化物、铜铁离子等血本属;光刻方法污工业工业生活污水 则有光阻剂等无机弄脏物。水源特别是COD高(800-1500mg/L)、氟化物渗透压高(200-400mg/L)、浮窗物多且有氢化物发生器血本属。
治理艺具体步骤
用"化学预工作+生物化学工作+深度.工作"的三人组合工序:
控制池稳定地表水的水量
混疑积累取除悬浮物物和悬浊液化合物
检查是否积累法特意净化处理氟化物,污泥脱水钙盐型成氟化钙积累
溶解过酸池从而提高污废水 可什么是生化性
学习空气氧化池挥发生产感染物
生物炭树脂吸附塔实现纵深净化处理
膜拆分软件系统确保安全出液水污染增强
涉及含铜焦化废水专门设备铝离子相互交换体统,回收公司有颜值的金属材质铜。
决定感觉
品牌开工建设后正常运作增强,出液COD<50mg/L,氟化物浓硫酸溶度<5mg/L,铜正离子浓硫酸溶度<0.3mg/L,一项的指标均相对比较国家地区《光电企业水空气大气污染物减排规格》(GB 39731-2020)。年年可避免COD减排约300吨,氟化物减排约50吨,利用铜废金属约2吨,实现目标了环境社会效益分析与资金社会效益分析的互利互惠。