该项目背景图片
某特大型半导体行业加工制造业单位设在长江三角洲形国家,通常工作晶圆和集成ic。在工作工作中,晶圆水刀切割和cnc精密机械加工阶段性制造许多碾磨液废水正确处理工艺,每日排卸量约50吨。鉴于废水正确处理工艺中含带高盐浓度漂浮物、金属材料阳离子及设计生成剂,进行排卸会对氛围导致的可怕被污染的,制造业单位急求修建工程专业正确处理设施设备。
污废水 成份及主要来源
研磨机液废水处理工艺核心渠道于晶圆生产加工中的化学上设备打磨(CMP)工步,核心被工业废气比如:
浮动颗粒状物
:二氧化的的硅、氧化的的铝等研磨设备颗粒肥料,粒级在0.1-1μm,溶度更是高达2000mg/L。
金属制铁离子
:铜、铁、锌等,出自于打磨抛光垫损耗及晶圆外表金属制层,铜阴离子氧化还原电位约50mg/L。
有机会修改剂
:例如单单从表面活性氧剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸碱度性物
:pH值上下波动大,一般来说在2-11之中。
工作加工制作工艺 步骤
而对生活污水的特点,用于“预处里+生物化学+角度处里”搭档技艺:
的调节池
:均衡性水体质量用水量,更改酸性调准pH至普通。
水泥混凝土奠定
:加药PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),我们要除漂浮物和悬浊液,沉降后SS我们要除率>90%。
催化剂的作用氧化物
:选取Fenton生化试剂(H₂O₂+Fe²⁺)挥发有机的插入剂,COD删去率达60%。
生物制品处置
:MBR膜生物工程表现器进一个步骤降解塑料结余生产物,COD降落到100mg/L下。
铝离子互相交换
:专业化树脂材料吸收铜铁离子,留水铜的含量<0.5mg/L。
砂滤+生物炭过滤器
:抓好溢水清亮,起到《污泥宗合释放标》(GB8978-1996)第一标。
从而效用
操作系统开机运行安全后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴阳离子<0.3mg/L。
中水回用率达40%,结余未达标减排,年提高焦化废水减排1.八万吨。
加工处理成本费用约15元/吨,远超过产业均匀。